工业制氧机是生产氮气(或液氮)和、氦、氙等混合气体的成套设备。
一般来说，空分设备多用于制氧。
工业真空解吸制氧机(简称VPSA制氧机)，即在穿透大气压的条件下，利用VPSA分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳、水等杂质，并在抽真空的条件下解吸分子筛，从而循环制备高纯氧(90~94%)。
VPSA能耗低，设备越大，能耗越低。

工业制氧设备厂家认为我国的工业制氧技术从80年代末开始研究，直到90年代初才有小规模的工业装置。
初期制氧装置使用的吸附剂为CaA分子筛吸附剂，工艺为PSA工艺。
从开始的20Nm3/h、50Nm3/h和100 Nm3/h到20世纪90年代末，我国工业制氧的规模仅为1000 Nm3/h，纯氧的电耗超过0.5 kWh/Nm3。
国内PSA制氧机处于发展初期的部分产品存在罗茨风机噪音大、故障率高，尤其是切换阀故障率高、分子筛易粉化等一系列问题。
许多单位，制氧站租赁，尤其是钢铁行业，基于短、平、快的特点，九江制氧机，推出了工业制氧设备。
由于设备工作量大，维护成本高，又被推倒重新放上深冷分离设备，给国人留下了设备无法长期运行，维护量过大，无法规模化的影响。
与同期水平的差距明显。

工业制氧机的正常运行状态是怎样的？　　1.电源指示灯亮，左吸、均压、右吸指示灯循环亮，表示制氧过程。
　　 2.当工业制氧机的左吸指示灯亮时，压力均衡时，左吸附塔压力从平衡压力逐渐上升到较高，制氧站投放，而右吸附塔压力从压力均衡时的平衡压力逐渐下降到零。
当均压指示灯亮时，左右吸附塔的压力会逐渐达到一升一降的平衡。
　　3.右吸指示灯亮时，压力均衡时右吸附塔压力从平衡压力逐渐上升到较高，而压力均衡时左吸附塔压力从平衡压力逐渐下降到零。
4.氧气出口压力表示气体压力正常，使用过程中压力会略有波动，但变化不宜过大。
　　5.工业制氧机流量计的流量指示应基本稳定，波动不应过大，集成制氧设备投放，流量计的指示值不应大于制氧设备的额定产气量。
　　 6.工业制氧机的氧气表的指示值不应小于制氧设备的额定纯度，可能会有一点波动，但波动不要太大。

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